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RGA系列殘余氣體分析儀可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。? 100,200,和300amu 優(yōu)于1amu 的分辨率6 個(gè)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍可檢測(cè)5 x 10-14Torr? 實(shí)時(shí)RGA Windows 和LabVIEW 軟件質(zhì)譜,泄漏檢測(cè)和壓力...