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德國(guó)TEM公司研發(fā)的4D PSD位敏探測(cè)器,采用兩個(gè)2D PSD探測(cè)器與相關(guān)光學(xué)元件的有機(jī)組合,能夠嚴(yán)格探測(cè)區(qū)分光束的位置漂移與角度漂移,分辨率達(dá)到nm級(jí)別
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